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SEMI S23 - 半導体製造装置로 사용하는 에네르기, 유티리티, および材料の保全のためのgaid -
Abstract
本standanardは， 글로벌 환경 건강 및 안전 위원회 で技術的に承認されている。現版は2011年2月3日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年3月にwww.semiviews .org およびwww.semi.org에서 入手可能과 함께 할 수 있습니다.
本gaidでは，半導体製造装置で使用するエネルギー，ユーティriti，および材料の保全に関する コンセプトを取り上げる.
本gaidでは，半導体製造装置におけるエネルギー，유티리티，および材料の使用に関する測定を取り上げる.
에네르기, 유티리티, および材料の保全を促進するため,本gaidでは,半導体製造装置におけるエネルギー，유티리티，および材料の使用に関する継続的な改善計画を取り上げる.
本gaidでは，一連のoptionや説明事項を通して，エネルギー，ユーティriti，および材料の保全のために利用できる技術についてユーザの知識向上を図る。유티리티와 材料の使用測定のための，あるいは使用測定を等価エネルギーに換算するための特定の実行手順を提案する.
참조된 SEMI 표준
SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
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