SEMI S22 - 半導體製造設備電氣設計安全基準 -

Abstract

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注意：本安全基準中以「註」為標題的段落並非正式內容，不得以此修改或取代正式的安全基準。委員會提供註解內容係為方便本安全基準的使用.

注意：符合本基準提及 「應」字的內容規定始屬符合本文件之標準.符合本文件標準不代表亦需符合提及 「可能」, 「建議」, 「偏好」, 「推薦」或「註」及「相關資料」之內容規定.

本基準係在針對半導體產業使用的生產設備提供以設計為主的整套電氣安全考量.

符合本文件規定之設計、建構與設計原則或其他可用的電氣安全標準需求，便可符合基本的產品安全考量。

範圍

本安全基準適用於半導體製造設備.

本安全基準所含之考量可用於設計預防電氣及非電氣危險的電氣安全連鎖，以及預防電氣危險的非電氣連鎖。

除第3 節「限制」中所排除的設備外，本文件的電氣設計考量適用於所有用來製造、測量、組裝及測試半導體產品的設備。

本安全基準適用於以危險性電壓或危險性電力發動的設備.

참조된 SEMI 표준

SEMI E33 - 반도체 제조 장비 전자파 적합성(EMC) 가이드
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S3 — 공정 액체 가열 시스템에 대한 안전 가이드라인
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S13 — 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침

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