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SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計のための安全に関する가이드 라인 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本gaidline은 は，半導体産業で使用される生産装置の設計における電気的安全に関する考慮事項を提供する.
製品安全に関わる基本的懸案事項には，本文書に規定されている設計，製作，testの原則を満taすか，matataは該当する電気的安全に関するstandaードの要求条件を満たすことにより対処できる.
참조된 SEMI 표준
SEMI E33 — 반도체 제조 시설 전자기 호환성 사양
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S3 — 가열된 화학조에 대한 안전 지침
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용되는 작동 및 유지 보수 매뉴얼에 대한 안전 지침
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침
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