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SEMI S21 - 人員防護安全基準 -
Abstract
人員防護安全基準目的 本安全基準係為提供個人防護的相關建議，避免人員在半導體或FPD製造設備上或附近執行工作時發生安全衛生之危險
이 안전 지침은 글로벌 환경 건강 및 안전 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2006년 8월 24일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2006년 10월에 www.semi.org에서 사용할 수 있었습니다. 원래는 2003년 10월에 출판되었습니다.
E 이 표준은 오류를 수정하기 위해 2007년 2월에 편집상 수정되었습니다. 7.2.3항이 변경되었습니다.
이 안전 가이드라인은 반도체 또는 FPD 제조에 사용되는 장비 위에서 또는 주변에서 작업을 수행할 때 안전 및 건강 위험으로부터 사람을 보호하기 위해 선호되는 방법을 식별합니다.
참조된 SEMI 표준 SEMI F34 — 액체 화학물질 파이프 라벨링 가이드
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용되는 작동 및 유지 보수 매뉴얼에 대한 안전 지침
SEMI S19 — 반도체 제조 장비 설치, 유지보수 및 서비스 직원 교육을 위한 안전 지침
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