SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及環保基準 -

Abstract

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本安全基準之目的係在從供應至排除設定易燃性矽化合物貯存、處理及用之最低安全與衛生標準。

本安全基準之目的係在設定半導體、 FPD 、 PV製造及其他使用易燃性矽化合物製程設備之最低安全與衛生設計標準。

本安全基準範圍內之易燃性矽化合物如表1 。

참조된 SEMI 표준

SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양
SEMI F5 — 기체 유출물 처리 가이드
SEMI F6 - 유해 가스 배관 시스템의 2차 봉쇄 가이드
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S4 — 분배 캐비닛에 포함된 화학 실린더의 분리에 대한 안전 지침
SEMI S5 — 가스 실린더 밸브의 유량 제한 장치 크기 조정 및 식별을 위한 안전 지침
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침

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