SEMI S17 - 無人搬運車（UTV）系統之安全基準 -

Abstract

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本基準之目的在於提供無人搬運車（ Unmanned Transport Vehicle, UTV ）系統的安全考量. 自動化搬運所設計的系統。 UTV 包括地面行駛車輛(상행차량, FTV) 系統和空中行駛車輛 차량, OTV) 사업.

範圍

本基準適用於無人搬運車半導體工廠與平面顯示器工廠之無人搬運車系統.

 

本基準係在說明地面行駛和空中行駛的無人搬運車及無人搬運車系統.地面行駛車輛(FTV) 包括自動導引車( AGV )系統和軌道導引車( RG V ）系統，空中行駛車輛(OTV ) 包括高架式搬運車(overhead shuttle, OHS) 系統與高架式起重搬運車( overhead hoist transport, OHT )系統.

1.1 

에서 評估系統是否符合本基準時，應考量UTV 系統供應商提供的整套設備，包括軌道，控制盤，電源配電盤， OHT 起重設備或OHS 維修空間以及其他型式UTV 所需之操作與維護設備.

 

本文件包含下列章節：

·     좋은

·     範圍

·     限制條件

·     參考標準

·     詞彙

·     一般規定

·     手冊(매뉴얼)

·     建築物介面

· 人因工程/ 人體工學考量

·     地震防護

· UTV 危害區域之預防受傷設計

·     碰撞保護

·     緊急操作

·     手動操作

·     維護保養

· 與半導體或FPD 製造設備的自動材料操作裝置的介面

·     UTV가 보유한 부하로부터 보호

·     危險指示

·     危險物質

·     相關文件

참조된 SEMI 표준

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양
SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 사양
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인
SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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