SEMI S15 - 有毒及易燃氣體偵測系統評估之安全基準 -

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Volume(s): Safety Guidelines
Language: Chinese (Traditional



Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI S15-0200(철회 0707) - 철회 - 역사적

개정

Abstract

有毒及易燃氣體偵測系統評估之安全基準 1. 目的 1.1 本基準係為說明在評估監視工廠人員、產品及原料、當地環境及社區安全之固定式氣體偵測系統時應考慮的事項。所提供之評估指南和參考基準適用於使用有毒及易燃氣體且以液態或氣態形式儲存的廠房與設備

이 안전 지침은 글로벌 환경 건강 및 안전 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2007년 4월 25일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2007년 6월에 www.semi.org에서 사용할 수 있었습니다. 원래는 2000년 2월에 출판되었습니다.

알림: 이 문서는 2007년에 투표를 거쳐 철회 승인을 받았습니다.

이 지침은 공장 직원, 제품 및 재료, 지역 환경 및 지역 사회의 안전을 모니터링하는 데 사용되는 고정 가스 감지 시스템의 평가에 대한 고려 사항을 제공합니다. 독성 및 인화성 가스를 기체 또는 액체 형태로 사용 및 저장하는 시설 및 장비에 적합한 평가 가이드 및 참고 소스를 제공합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E33 — 반도체 제조 시설 전자기 호환성 사양

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