SEMI S14 - 半導体製造装置に対する火災riskasesment and 軽減のための安全gaidline -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本文書は，半導体製造装置 メーカーに対して，装置および製品に対する火災および燃焼副生成物のriskをアスment，軽減する上助けとなる検討事項を提供する.

これらのgaidlineは，Asessesment手段の形式で書かれているが，半導体製造装置の設計開発の全般にわたって用いられるように意図されて좋다。

これらのgaidlineはmata，装置ユーザやその他の関係者が，記述されているriskについて様々な装置設計をアスセントし比較する際，または補助装置や改造の設計およびアセスMENTSURU際にも使用することができる。

これらのgaidlineは，火災riskを軽減するために用いる技術（例えば，材料mataは検知systemの選択）を特定するようには意図されていない。しかし，これらのgaidlineは，従来からのrisk制御の除去，工学的制御，管理的制御，警告および作業方法の順の適用順序を遵守する ことを強く勧告している。

これらのgaidlineを適切に適用すると，残存する火災riskの同定，解析，Asessementatsuru報告書が得られる.

これらのgaidlineは，半導体製品を製造，計測，組立て および試験する装置で，半導体製造proses用 criーンrumーm内，mata循環気流内に設置するものに適用される。またここに記載の装置の全部品に対して適用される.

本文書は，装置自体，他の装置，製品matataは設備に損傷をもたらす恐れのある主題の装置に発生する火災riskに適用される.

本 本 は は は, 半導体 製造 製造 装置 の 火災 リスク リスク を アセスメント アセスメント する ため ため に 考慮 す べき 事項 事項 事項 事項 リスク を 分類 する 方法 方法 および リスク リスク を 軽減 する 方法 を 取扱っ て いる いる。。。。。 分類

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양

SEMI E70 - 도구 수용 프로세스 가이드

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

SEMI S7 — 직원 평가 및 회사 자격 평가를 위한 안전 지침

SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침

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