SEMI S13 - 製造設備使用者文件之安全衛生及環保基準 -

Abstract

本安全基準之技術業經全球環境、衛生及安全委員會核准。目前版本已於2012年12月20日獲得글로벌 감사 및 검토 소위원회核准，2013年1在www.semiviews.org和www.s emi.org發行出版線上版本。初版於1998年2月發行。次版於2005年3月發行。

本安全基準文件提供製造設備使用者，必要的環境，衛生與安全資訊考量事項（例如操作，保養，安裝及安全手冊），以協助降低製造設備的操作、保養及安裝風險。

凡執行操作、保養、維修、安裝、除污或設備除役之人員，應閱讀所有提供給設備使用者且描述相關作業內容的文件。

本安全基準的適用範圍包括為生產、測量、組裝與測試產品，而提供的使用者文件。

本安全基準包含下列項目：

• 目的
• 範圍
• 限制

參考標準及文件

詞彙

設備使用者文件的一般標準

設備的本質危險

危險能量控制程序

危險警告

任務的固有危險

物質安全資料表（ MSDS ）

個人防護裝備（ PPE ）

設備檢查、耗材與保養

訓練需求

緊急聯絡與應變

참조된 SEMI 표준

SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 EHS 가이드라인
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S12 — 제조 장비 오염 제거를 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 가이드라인
SEMI S16 — 수명 종료 시 환경 영향 감소를 위한 반도체 제조 장비 설계 가이드
SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경 건강 및 안전 가이드라인

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