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SEMI S13 - 製造装置과 共に使用する ことが意図された装置ユーザへの提供文書のための環境,健康,安全gaidline -
Abstract
本standared는 글로벌 환경 보건 및 안전 기술 위원회 입니다 . semiviews.org 는 www.semi.org 에서 1998년 3 월 행진을 시작합니다.
本安全gaidlineは，装置の操作，保守および設置に関するriskを低減するため，製造装置と共に使用することが意図された提供文書（取扱説明書，保守マニュアル，設置マニュアル，安全マニュアル等）に記述される環境，健康，安全情報として考慮すべき事項を述べている。
本安全gaidlineは，装置ユーザが実行すべき作業が記述された装置ユーザへの提供文書を，装置の操作，保守，서비스，인스토르，汚染除去，ディコミッショningの担当者が読むべきであるということを意図している.
本安全gaidlineは，製造，計測，組立，試験のために，装置と共に使用用用される。
本安全가이드라인には次の項目が含まれる.
- 좋은
- 範囲
- 制限
- 参照スタンダード および文書
- 用語
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 EHS 가이드라인
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S12 — 제조 장비 오염 제거를 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 가이드라인
SEMI S16 — 수명 종료 시 환경 영향 감소를 위한 반도체 제조 장비 설계 가이드
SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경 건강 및 안전 가이드라인
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