SEMI S8 - 半導体製造装置の人間工学엔지니어링に対する안전가이드라인 -

Abstract

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免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

注意： 本安全gaidlineで使われる公式な値は，国際単位系（ SI ）によって表示されてるい。数字データのうち，

인천－폰드系で表示されているもの(미국)

括弧でくくられているもの

SI 単位系に続いて表示されているもの

は，公式でなく，参考値である。また， SI 値の正確な変換値でない場合もある。

注意： 「注」の表題のついた段落は，本安全gaidlineの公式な一部ではなく，mata安全gaidline本文の内容の変更や書き換えを意図したものではない。안가이드라이ンの利用を促進するために委員会が提供したものである.

　

本安全gaidlineは，半導体製造装置の人間工学的設計原則と，考慮すべき事項を規定する。

　

本安全gaidlineの目的は，製造環境下のユーザと装置間の融和性を高めるためのものである。以下に示す一般原則は，人間工学設計および装置評価をするために必須である.

　

装置の設計においては，作業を分類する ことによって安全性を最大限にする設計べきである。各々の能力を最適化し，制限や危険を最小限にするために，하드웨아，소후트웨아，유자の3つに作業を分類すべきである。さらに，適正な作業の分類は，仕事の効率を高める。

　

過失や事故の潜在性を最小限に抑えるため，ユーザの期待に沿うような装置設計をすべきである.

　

装置設計においては，ユーザ集団に対し予測できる體型，體力，動作の特質の範囲に合わせたものとし，疲労おび傷害を最小化する設計にすべきである。このような設計は，作業実行を容易にする.

 

本gaidlineは，半導体製造装置設計における，人間工学Eng.を包括的にとらえるため，いくつかのgaidlineは，人と機械間の作業実行を効果的にするための設計全般の目標について定めている点である。gaidlineが適用されるものは，半導体製造装置の設計, 操作, 保守, servis, および限定 された範囲での装置据付（ ¶7.3 参照）である。

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E95 — 반도체 제조 장비용 휴먼 인터페이스 사양
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침

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