SEMI S7 - 半導體製造設備的安全衛生及環保評估報告之安全基準 -

Abstract

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本安全基準的目的是讓報告使用者，決定評估公司和評估人員的資格.

在應用「 SEMI S 系列」文件進行評估有關公司時，本安全基準提供評估公司和評估人員應提供之最低限度的資訊.

在應用「 SEMI S 系列」文件或因應評估報告買方要求時，本安全基準提供相關資訊應如何予以溝通之。

適用範圍

應用 「 SEMI S 系列」文件於評估公司和評估人員的資格，本基準提供了指導原則。

本基準包括：

· 좋은

· 範圍

· 限制

· 引用的標準與文件

· 術語

· 概述

· 評估公司資格

· 評估人員資格

· 專業領域

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S3 — 공정 액체 가열 시스템에 대한 안전 가이드라인
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 EHS 가이드라인
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기적 설계를 위한 안전 가이드라인
SEMI S23 — 반도체 제조 장비에서 사용되는 에너지, 유틸리티 및 재료 절약을 위한 가이드
SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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