SEMI S6 - 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 환경, 건강 및 안전 지침 -

Abstract

이 표준은 환경, 건강 및 안전 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2017년 12월 13일과 2018년 2월 1일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 1993년에 출판되었습니다. 이전에 게시된 2009년 6월.

알림: 이 문서에 대한 적합성을 선언하려면 이 안전 가이드라인의 '해야 한다' 조항에 대한 적합성이 필요합니다. '할 수 있다', '제안', '선호', '권장', '참고' 또는 '관련 정보' 조항에 대한 적합성은 적합성을 선언하는 데 필요하지 않습니다.

이 안전 지침은 반도체 제조 장비(SME)의 배기 환기에 대한 안전 성능 기준과 해당 기준에 대한 적합성을 평가하기 위한 테스트 방법을 제공합니다.

사용자 시설의 배기 환기 시설의 에너지 효율성과 물리적 제약이 더욱 뚜렷해짐에 따라 배기 환기의 최적화가 더욱 중요해지고 있습니다. 사람, 재산 및 환경을 건강 및 안전 위험으로부터 보호하기 위해 효율적으로 설계된 배기 환기 장치를 제공해야 합니다. 이 안전 지침의 목적은 배기 환기에 대한 성능 및 설계 원칙과 테스트 방법 및 기준을 제공하는 것입니다.

이 안전 가이드라인은 사용자 시설의 배기 환기 시스템에 연결되도록 의도된 배기 환기가 포함된 반도체 제조 장비에 적용됩니다.

이 문서의 기준은 개인 보호, 장비 보호 및 화재 위험 감소의 목적(전체 또는 일부)을 위해 제공되는 배기 환기 시스템에 적용되어야 합니다.

이 문서의 성능 및 평가 기준은 공급자가 사용자에게 제공한 모든 장비 또는 다른 공급자가 사용자에게 제공하는 장비의 일부로 제공될 다른 공급자에게 적용됩니다.

이 문서는 반도체 장비 공급업체가 장비 배기 환기 시스템을 공통 성능 기준 세트로 설계하는 데 도움을 주고 장비 시스템의 배기 환기 요구 사항을 이해하는 데 있어 사용자와 공급업체 모두에게 도움을 제공하기 위한 것입니다. 설계 사양을 설정하기 위한 것이 아닙니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F5 — 기체 유출물 처리 가이드
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인

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