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SEMI S5 - 가스용 유량 제한 장치 크기 조정 및 식별을 위한 안전 지침 -
Abstract
이 안전 지침의 목적은 운송, 보관 및 사용 중에 유해 가스의 방출 속도를 제한하는 흐름 제한 장치(FLD)와 관련된 정보 및 방법을 제공하는 것입니다.
이 안전 지침은 유해 가스용 FLD에 적용됩니다. 이러한 장치는 FLD 또는 FLD 하류에서 제어되지 않은 가스 방출의 유속을 제한하기 위한 것입니다.
이 안전 가이드라인은 FLD 상류 압력 대 FLD 하류 압력의 비율이 적어도 임계 압력 비율 이상인 임계 유량에서 작동하는 FLD와 관련이 있습니다.
이 안전 지침은 크기별로 FLD를 식별하는 방법을 제공합니다.
이 안전 가이드라인은 이러한 장치를 통해 여러 가스 및 그 혼합물의 대략적인 최대 및 최소 유속을 계산하는 방법을 제공합니다.
이 안전 가이드라인은 가스 및 필요한 유량에 따라 용도에 맞는 FLD 크기를 선택하는 방법을 제공합니다.
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
개정 내역
SEMI S5-1121(기술 개정)
SEMI S5-0616(기술 개정)
SEMI S5-0310(완전 재작성)
SEMI S5-0703(전체 재작성)
SEMI S5-93(최초 공개)
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