SEMI S5 - 가스용 전력량 制限데바이스 규모 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本安全가이드라인は， Environmental Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認され月ている。現版は2015年12月4日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて承認された。 2016年6にwww.semiviews .org およびwww.semi.org에서 入手可能となる.

　

この安全gaidlineの目的は，危険性gasの運搬，貯蔵，および使用中における放出速度を制限する流量制限デバイス(FLD)に関連する情報および方法を提供するものである.

　

この安全gaidlineは，危険性gassのFLDを取り扱うものである。これらのデバイスは、FLDあるいはその下流で，制御されない放出の流量を制限することを図している.

　

この安全gaidlineは， FLDの上流to下流の圧力比（上流圧/下流圧）が臨界圧力比以上であることに起因する臨界流量において作動するFLDを取り扱うものである.

　

이 보안 가이드라인은 FLD 를 특정하게 정의할 수 있는 방법입니다.

　

この安全びその混合物の近似最大および最小流量を計算する方法を提供する.

　

이 보안 가이드라인은 アプリケーションに使用するFLDのsizeを，使用gasおよび必要な流量に基づいて選択する方法を提供する.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S26 — FPD 제조 시스템을 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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