Japan Store
SEMI S4 - 캐비닛에 포함된 가스 실린더의 분리/분리에 대한 안전 지침 -
Abstract
알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.
이 안전 가이드라인은 어떤 유형의 화학물질이 별도의 가스 캐비닛에 있어야 하고 어떤 실린더가 서로 가스 캐비닛에 있을 수 있는지를 결정하는 방법을 제공합니다.
이 안전 지침은 반도체 관련 기술에 종사하거나 연구하는 사람들이 사용하기 위한 것입니다.
이 안전 지침은 실린더에 포함된 가스 및 액체를 포함하는 화학 물질로서 증기압 때문에 또는 운반 가스에 의해 증기로 운반될 수 있기 때문에 가스 형태로 사용되는 화학 물질을 말합니다.
또한 최대 1000리터의 내부 용적을 포함하여 모든 유형의 실린더에 적용됩니다.
이 안전 가이드라인의 주된 의도는 연구 및 제조 공정에서 사용 중이거나 분배되는 실린더 가스에 관한 것입니다.
이 안전 가이드라인은 실린더에 공급되고 공정 화학 라인을 퍼지하는 데 사용되는 퍼지 가스를 다룹니다.
이 안전 지침은 101.3kPa(1기압) 미만의 압력에서 화학 물질을 제공하도록 설계된 실린더의 공정 화학 물질에 대해 설명합니다.
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
없음.
개정 내역
SEMI S4-0304(완전 재작성)
SEMI S4-92(최초 공개)
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
이 상품은 아직 리뷰가 없습니다.