SEMI S2 - 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 지침 -

Abstract

이 안전 가이드라인은 반도체 제조 장비에 대해 업계에서 인정하는 가이드라인을 제공합니다. SEMI S2를 사용함으로써 사용자와 공급업체는 심각한 부상이나 사망을 초래할 수 있는 장비, 시설, 작업자 환경 및 인력과 관련된 위험을 최소화하도록 장비를 조달하고 설계할 수 있습니다. 제3자 평가자도 이 안전 가이드라인을 사용하여 장비가 SEMI S2에 나열된 안전 프로토콜을 준수하는지 여부를 평가하고 결정합니다.

이 안전 지침은 반도체 제조 장비에 대한 성능 기반 환경, 건강 및 안전(EHS) 고려 사항 세트를 목적으로 합니다.

 

적용 가능성 — 이 안전 지침은 반도체 제품을 제조, 측정, 조립 및 테스트하는 데 사용되는 장비에 적용됩니다.

　

섹션 요구 사항의 우선 순위 — 이 안전 가이드라인의 다른 섹션에 있는 조항 간에 상충하는 경우 기술 문제를 구체적으로 다루는 섹션 또는 하위 섹션이 보다 일반적인 섹션 또는 하위 섹션보다 우선합니다.

　

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드
SEMI F5 — 기체 유출물 처리 가이드
SEMI F14 — 가스 소스 장비 인클로저 설계 가이드
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S3 — 공정 액체 가열 시스템에 대한 안전 가이드라인
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S7 — 직원 평가 및 회사 자격 평가를 위한 안전 지침
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인
SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S12 — 제조 장비 오염 제거를 위한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

SEMI S13 — 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인

개정 내역

SEMI S2-0821(기술 개정)

SEMI S2-0818Eb(개정 지연)

SEMI S2-0818Ea(개정 연기)

SEMI S2-0818E(편집 개정)

SEMI S2-0818(기술 개정)

SEMI S2-1016b(개정 지연)

SEMI S2-1016a(개정 지연)

SEMI S2-1016(기술 개정)

SEMI S2-0715a(개정 지연)

SEMI S2-0715(기술 개정)

SEMI S2-0712d(개정 연기)

SEMI S2-0712c(개정 지연)

SEMI S2-0712b(개정 지연)

SEMI S2-0712a(개정 지연)

SEMI S2-0712(기술 개정)

SEMI S2-0310e(개정 지연)

SEMI S2-0310d(개정 연기)

SEMI S2-0310c(개정 지연)

SEMI S2-0310b(개정 지연)

SEMI S2-0310a(개정 지연)

SEMI S2-0310(기술 개정)

SEMI S2-0709(기술 개정)

SEMI S2-0706e(개정 연기)

SEMI S2-0706d(개정 연기)

SEMI S2-0706c(개정 지연)

SEMI S2-0706b(개정 지연)

SEMI S2-0706a(개정 지연)

SEMI S2-0706E(편집 개정)

SEMI S2-0706(기술 개정)

SEMI S2-0703aE(편집 개정)

SEMI S2-0703a(개정 지연)

SEMI S2-0703(기술 개정)

SEMI S2-0303(기술 개정)

SEMI S2-1102(기술 개정)

SEMI S2-0302(기술 개정)

SEMI S2-0200E (편집 개정)

SEMI S2-0200(완전 재작성)

SEMI S2-93A(기술 개정판)

SEMI S2-93(기술 개정)

SEMI S2-91(최초 공개)

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.