SEMI S2 - 半導体製造装置の環境，健康，安全に関する 가이드라인 -

Abstract

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免責事項： 　このSEMIstandade は，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用各位の便宜のために作成したものです一一万が英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本安全gaidlineは，半導体製造装置で実現すべき，一連の環境，健康，安全（환경, 보건 및 안전（ EHS ） ）上の性能基準を提供する。

適用 — 本安全gaidlineは，半導体製品の製造，測定，組立て，およびtestに用される装置に適用される.

 

条項の優先順位 — 本安全가이드라인의 複数세크션의 規定가相互に矛盾する場合は，当該技術問題を特定して取り扱うセクションが，より一般的な他のSECTIONに優先する.

 　

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드
SEMI F5 — 기체 유출물 처리 가이드
SEMI F14 — 가스 소스 장비 인클로저 설계 가이드
SEMI F15 — 인클로저에 대한 테스트 방법(SF6 추적 가스)이 SEMI S6으로 이동되었습니다.
SEMI S1 — 장비 안전 라벨에 대한 안전 가이드라인
SEMI S3 — 공정 액체 가열 시스템에 대한 안전 가이드라인
SEMI S6 — 반도체 제조 장비의 배기 환기에 대한 EHS 가이드라인
SEMI S7 — 반도체 제조 장비의 환경, 안전 및 건강(ESH) 평가를 위한 안전 지침
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인

SEMI S10 — 위험 평가 및 위험 평가 프로세스에 대한 안전 지침
SEMI S12 — 장비 오염 제거 지침
SEMI S13 — 반도체 제조 장비와 함께 사용하기 위해 장비 사용자에게 제공되는 문서에 대한 환경, 건강 및 안전 지침
SEMI S14 — 반도체 제조 장비의 화재 위험 평가 및 완화를 위한 안전 지침
SEMI S22 — 반도체 제조 장비의 전기 설계에 대한 안전 가이드라인

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