SEMI S1 - 設備安全標籤安全基準 -

Abstract

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本基準提供設備安全標示之內容及格式，並提出標誌範例以供用。

　

本基準欲提供給設備製造商建立安全標籤以警告人員該設備之相關危害.

　

本基準欲提供半導體工業特定安全標籤之國際統一格式.

　

本基準欲協助發展半導體工業生產機台之安全標籤.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI S10 — 위험 평가를 위한 안전 가이드라인

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