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SEMI PV64 - 유도 결합 플라즈마 광 방출 분광법을 사용하여 PV 애플리케이션용 실리콘 분말의 B, P, Fe, Al, Ca 함량을 측정하기 위한 테스트 방법 -
Abstract
염산수소화는 폴리실리콘 생산의 핵심 공정입니다. 염화수소화는 많은 양의 실리콘 분말을 소모합니다. 실리콘 분말의 B, P, Fe, Al, Ca 함량은 생산된 트리클로로실란의 순도 수준에 상당한 영향을 미칠 수 있습니다. 따라서 규소분말에서 B, P, Fe, Al, Ca의 함량을 측정하는 방법의 개발이 필요하다.
이 테스트 방법은 규소 분말에서 B, P, Fe, Al 및 Ca를 모니터링하거나 검증하는 데 사용되는 전 세계 실험실 간에 프로토콜 및 테스트 결과의 통합을 용이하게 할 수 있습니다.
이 표준은 유도 결합 플라즈마 발광 분광법(ICP-OES)에 의해 실리콘 분말의 B, P, Fe, Al, Ca 함량을 결정하기 위한 테스트 방법을 지정합니다.
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI C10 - 방법 검출 한계 결정을 위한 가이드
SEMI C28 –– 불화수소산 사양
SEMI C35 –– 질산 사양 및 가이드라인
SEMI PV17 — 태양광 애플리케이션용 버진 실리콘 공급원료 사양
SEMI PV49 –– Bulk Digestion, Inductively Coupled-Plasma Mass Spectrometry 에 의한 실리콘 태양 전지용 실리콘 공급원료의 원소 불순물 농도 측정을 위한 테스트 방법
개정 내역
SEMI PV64-0714 (재승인 0121)
SEMI PV64-0715(초판)
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