SEMI PV64 - 电感耦合等离子體光谱法测量光伏多晶硅用工业硅粉中B, P, Fe, Al, Ca的含量 -

Abstract

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이 표준은 Photovoltaic Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2015년 5월 19일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2015년 7월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

氢化是多晶硅制造过程中的关键环节.因此，开发一种方法来测量硅粉中B, P, Fe, Al, Ca的含量是非常必要的.

本方法可便于在世界各地实验室之间统一测试方案和测试结果，用于监测或测量硅粉中B, P, Fe, Al, Ca的含量.

本标准规定了用电感耦合等离子体发射光谱法检测光伏多晶硅用工业硅粉中B, P, Fe, Al, Ca含量的测定方法.

참조된 SEMI 표준

SEMI C10 - 방법 검출 한계 결정을 위한 가이드
SEMI C28 –– 불산 사양
SEMI C35 –– 질산 규격 및 가이드라인
SEMI PV17 — 태양광 애플리케이션용 버진 실리콘 공급원료 사양
SEMI PV49 –– Bulk Digestion, Inductively Coupled-Plasma Mass Spectrometry 에 의한 실리콘 태양 전지용 실리콘 공급원료의 원소 불순물 농도 측정을 위한 테스트 방법

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