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SEMI PV60 - レーザー走査法を用いた太陽電池모쥬르에 おける시리콘 웨하노크락크測定方法 -
Volume(s):
Photovoltaic
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
本standaredは, Photovoltaic – Materials Global Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2014年11 月11日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2015 年1 月にwww.semiviews .org およびwww.semi.org 에서 거래가 가능합니다.
太陽電池セル用の多結晶および単結晶シリコンウエハは，캐스팅법이나쵸크랄스키법matataはその他の制御された固化方法で製造される。
これらのシリコンウエを用いて太陽電池セルを製造する工程では，機械的応力や熱応力の作用によって，wehaに欠け，skratchi，クラック等の마크로나欠陥がしばしば発生する。欠け，스크랏치はクラックが発生する要因になり得る.
クラックが発生したウエは，モジュール生産工程で破損する場合があり生産性の低下やcostapno原因になる。mata，破損したウエは太陽電池モジュールの信頼性の低下の原因になる.
このため，高いスルーをを測定する inline方式の特性評価方法が求められている.
本方法は, LBIC(레이저 빔 유도 전류) 法を基本とし，モジュールに印加するバイアス電圧を制御する ことによって，クラックのみを識別して検出する測定方法である.
本試験方法は，結晶シリコンウエハ中のクラックを識別し測定するものである.
本試験方法は，Inline方式の非接触かつ非破壊的方法を用いており，測定装置中で試験体を移動させる機構によってモジュールを支持し，その多結晶および単結晶シリコンウエハの特性評価を行う.
本試験方法は，一辺の長さが125ｍｍ以上で，厚さが100μm 以上の正方形 および擬似正方形の太陽電池シリコンセルを対象とする。
높은 신뢰도를 바탕으로 현재의 가치를 확고히 하는 데 이타를 には, 本試験方法を統計的工程管理( SPC, 예: ISO 11462 )의 もとで運用するとなお効果的である.
本試験方法は，レーザー光を太陽電池セル受光面にスカンさせて得られる短絡電流密度の分布から，クラックを検出する。
他の測定方法が，クラックの数や長さについて本方法と似た情報を出すこともあり得るが，それらの主題は本方法の主題とは異なる。
本試験方法は，決められた要件を満足するならば，오후라인데노評価にも適用できる。
참조된 SEMI 표준
SEMI E89 — 측정 시스템 분석(MSA) 가이드
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
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