SEMI PV53 - 수평 확산로에서 플랫 온도 영역의 인라인 모니터링을 위한 테스트 방법 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000

Volume(s): Photovoltaic
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI PV53-0514(재승인 1220) - 현재

개정

Abstract

이 문서는 테스트 원리, 테스트 장치, 환경, 테스트 단계 및 플랫 온도 영역 계산을 포함하여 수평 확산로의 플랫 온도 영역 테스트 방법을 다룹니다.


이 테스트 방법은 수평 확산로에서 평평한 온도 영역을 테스트하는 데 사용됩니다. 수평 PECVD 장비, 수평 진공 어닐링로, 수평 합금로 및 기타 유사한 장비도 참고로 구현할 수 있습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI PV53-0514(재승인 1220)

SEMI PV53-0514(초판)


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