SEMI PV48 - PV 실리콘 웨이퍼용 방향 기준 마크 사양 -

Abstract

여러 SEMI 테스트 방법에 설명된 치수 메트릭은 측정 중에 웨이퍼의 물리적 방향을 정의하지 않습니다.

　

방향이 다른 동일한 웨이퍼의 측정(측정 간에 회전 또는 뒤집힘)은 측정 장비 정밀도의 한계 내에서 순열 데이터 세트를 생성합니다. 이로 인해 클레임 처리 또는 사양 확인 중에 혼란이 발생하거나 적어도 논의가 발생할 수 있습니다.

　

또한 특정 또는 선호 방향으로 웨이퍼를 배향하는 일부 태양 전지 공정 단계에 도움이 될 수 있습니다.

　

따라서 측정 또는 처리 중에 정사각형 또는 유사 정사각형 실리콘(Si) 웨이퍼의 고유한 방향을 허용하는 방향 기준 마크가 필요합니다.

　

많은 PV Si 웨이퍼는 현재 추적이 가능하도록 표시되어 있습니다. 이러한 표시는 방향 기준 표시로도 사용할 수 있습니다.

　

이 사양은 현재 마크가 방향 기준 마크로 사용될 수 있는 방법을 정의합니다.

　

또한 표시되지 않은 웨이퍼에 방향 기준 표시를 적용하는 방법도 정의합니다.

　

이 사양은 공칭 가장자리 길이가 ≥125 mm이고 공칭 두께가 ≥100 µm인 광전지(PV) 응용 분야용 정사각형 및 유사 정사각형 Si 웨이퍼를 다룹니다.

　

단결정 뿐만 아니라 다결정 Si 웨이퍼에도 적용할 수 있습니다.

　

SEMI PV29 및 SEMI PV32에 설명된 마크 중 하나로 표시된 PV Si 웨이퍼에 적용됩니다.

　

§ 7.2에 따라 기점 마크만 있는 웨이퍼에도 적용됩니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI PV29 — 2차원 매트릭스 기호가 있는 PV 실리콘 웨이퍼의 전면 마킹 사양
SEMI PV32 — PV 실리콘 브릭 면 및 PV 웨이퍼 에지 마킹을 위한 사양

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