SEMI PV43 - 불활성 기체 융합 적외선 검출법에 의한 실리콘 태양 전지용 PV 실리콘 재료의 산소 농도 측정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Photovoltaic – Materials Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2018년 8월 17일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2018년 10월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 2013년 1월에 출판되었습니다.

이 테스트 방법의 목적은 광전지(PV) 실리콘 재료의 산소 농도 측정을 위한 분석 프로토콜을 표준화하는 것입니다. 이는 연구 개발 활동을 지원하거나 구매, 판매 또는 내부 사용을 위해 PV 실리콘 재료를 모니터링하거나 자격을 부여하는 실험실 간의 테스트 결과 비교를 용이하게 합니다.

이 테스트 방법은 광전지 응용 분야를 위한 PV 실리콘 재료의 산소 함량을 분석하는 데 사용할 수 있습니다. 반도체급 실리콘 재료에도 사용할 수 있습니다.

이 테스트 방법의 적용에는 실리콘 태양 전지 생산에 사용되는 PV 실리콘 재료의 모니터링 또는 검증이 포함됩니다.

또한 이 테스트 방법은 PV 실리콘 재료 제조 및 결정 및 다결정 실리콘 성장 공정의 연구 개발에 사용될 수 있습니다. 또한 결정질 또는 다결정 실리콘 태양 전지의 고장 또는 성능 저하와 산소 농도의 상관 관계를 파악하는 데 사용할 수 있습니다.

설명된 테스트 방법은 불활성 기체 융합 원리를 기반으로 하고 적외선 감지기를 측정 기술로 사용하는 상용 산소 분석기와 함께 사용하기 위한 것입니다.

설명된 방법의 감지 범위는 5~500ppma입니다.

PV 실리콘 재료의 산소 농도를 결정하는 데 필요한 모든 정보가 이 테스트 방법에 포함되어 있지는 않습니다. 예를 들어, 다양한 실리콘 샘플에서 산소 농도를 측정하기 위한 최적 온도 결정 또는 산소 피크 매개변수의 최적화는 이 테스트 방법에 설명되어 있지 않습니다.

이 테스트 방법은 산소 분석의 신뢰성에 가장 큰 영향을 미치는 것으로 알려진 특정 요소(예: 표본 준비, 보정 절차, 검출 한계 결정)를 다룹니다.

폴리실리콘 분말, 과립, 박편, 청크, 단결정 및 다결정 웨이퍼와 슬러그를 포함하여 다양한 물리적 형태의 실리콘 샘플을 사용할 수 있습니다.

이 테스트 방법에 설명된 산소 측정은 모든 도펀트 종 및 농도에 관계없이 사용할 수 있습니다.

검출 한계는 기기 ​​블랭크 값 제한에 의해 결정되며 기기 및 준비 기술에 따라 달라질 수 있습니다.

도펀트 또는 원치 않는 미량 또는 초미량 수준의 불순물과 같은 태양광 애플리케이션용 PV 실리콘 재료에 존재하는 일반적인 요소는 이 방법으로 수행되는 산소 농도 측정을 방해하지 않습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI PV17 — 태양광 애플리케이션용 버진 실리콘 공급원료 사양
SEMI PV22 — 광기전 태양 전지용 실리콘 웨이퍼 사양

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