SEMI PV31 - PV 적용을 위한 투명 전도성 산화물(TCO) 필름의 분광적으로 분해된 반사 및 투과 헤이즈에 대한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Photovoltaic - Materials Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2012년 2월에 출판되었습니다.

광전지 산업에서 사용되는 투명 전도성 산화물(TCO) 필름은 광 흡수를 최적화하고 전지 효율을 최대화하기 위해 질감 처리됩니다. 종종 헤이즈 측정은 이러한 필름을 특성화하는 데 사용됩니다. 필요한 텍스처는 일반적으로 표면의 저주파 및 고주파 거칠기의 상대적 양이 모두 중요할 수 있기 때문에 단일 헤이즈 결과로 잘 정의되지 않습니다. 따라서 헤이즈는 종종 소스 파장의 스펙트럼에 대해 결정됩니다. 그런 다음 헤이즈 값은 종종 재료의 유용한 특성과 연관될 수 있습니다.

광전지(PV) 필드에서 헤이즈는 샘플 표면에서 통합된 전체 반사 또는 투과 산란으로 간주됩니다. 이 측정의 기본 사항은 SEMI MF1048에서 다룹니다.

이 테스트 방법은 SEMI MF1048 및 SEMI PV15를 PV 산업에서 사용되는 TCO 필름의 소스 파장의 함수로 반사 및 투과 헤이즈 측정으로 확장합니다. 비정질 또는 다른 유형의 실리콘에 증착된 TCO 필름에서 반사 헤이즈를 얻을 수 있습니다. 투명 물질(예: 유리)에 증착된 TCO 필름에서 유사한 방식으로 투과 헤이즈를 얻을 수 있습니다.

헤이즈는 소스 빔의 입사 파장의 함수로 결정됩니다. 헤이즈는 또한 소스 빔과 필름 표면 법선 사이의 입사각의 함수로 결정됩니다. 원하는 경우 샘플 필름의 다른 위치에서 측정할 수도 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI MF1048 — 반사 총 통합 산란 측정을 위한 테스트 방법
SEMI PV15 — PV 재료의 표면 거칠기와 질감을 모니터링하기 위한 각도 분해 광산란 측정을 위한 조건 정의 가이드

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