SEMI PV22 - 광전지 태양 전지용 실리콘 웨이퍼 사양 -

Abstract

이 사양은 광전지(PV) 태양 전지 제조에 사용되는 실리콘 웨이퍼에 대한 요구 사항을 다룹니다. 공통 처리 장비를 여러 제조 라인에서 사용할 수 있도록 하려면 웨이퍼 치수를 표준화하는 것이 필수적입니다.

이 사양은 표준화된 치수와 현재 광전지 응용 분야에 널리 사용되는 크기를 기반으로 실리콘 웨이퍼의 특정 기타 일반적인 특성을 제공합니다.

이 사양은 또한 관련 비표준 웨이퍼 특성 및 연구, 개발 및 새로운 요구 사항에 대한 웨이퍼 크기의 확장이 상거래에서 쉽고 일관되게 지정될 수 있도록 주문 입력을 위한 표 형식의 사양 형식을 제공합니다.

이 사양은 PV 애플리케이션용 단결정 실리콘 웨이퍼 및 캐스트 실리콘 웨이퍼에 대한 주문 정보 및 특정 요구 사항을 다룹니다.

이 사양은 다음을 포함하는 성장 방법을 허용합니다. 단결정 실리콘용 Cz(Cz)법, FZ(Floating Zone)법 웨이퍼 및 캐스트 실리콘 웨이퍼용 시드 유무에 따른 캐스팅 방법.

지정된 캐스트 실리콘 웨이퍼에는 캐스트 실리콘 카테고리 I 웨이퍼와 캐스트 실리콘 카테고리 II 웨이퍼가 포함됩니다.

완전한 구매 사양을 위해서는 크기를 결정하는 데 적합한 테스트 방법과 함께 다양한 물리적 특성을 지정해야 합니다. 이 표준의 사양 형식은 이러한 속성 및 사용 가능한 관련 테스트 방법의 포괄적인 목록을 제공합니다(부록 1 참조).

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI M35 — 자동 검사로 감지되는 실리콘 웨이퍼 표면 특징에 대한 사양 개발 가이드

SEMI M44 - 실리콘의 침입형 산소에 대한 변환 계수 가이드

SEMI M53 - 패턴이 없는 반도체 웨이퍼 표면에 단분산 폴리스티렌 라텍스 구체의 증착을 사용하여 스캐닝 표면 검사 시스템을 교정하기 위한 실습

SEMI M58 — DMA 기반 입자 증착 시스템 및 프로세스를 평가하기 위한 테스트 방법

SEMI M59 — 실리콘 기술 용어

SEMI MF26 — 반도체 단결정의 배향 결정을 위한 테스트 방법

SEMI MF42 — 외부 반도체 재료의 전도도 유형 테스트 방법

SEMI MF84 — 인라인 4점 프로브로 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법

SEMI MF523 - 연마된 실리콘 웨이퍼 표면의 육안 검사 실습

SEMI MF391 — 정상 상태 표면 광전압 측정을 통한 외부 반도체의 소수 캐리어 확산 길이 테스트 방법

SEMI MF533 — 실리콘 웨이퍼의 두께 및 두께 변화에 대한 테스트 방법

SEMI MF657 — 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 휨 및 전체 두께 변화를 측정하는 테스트 방법

SEMI MF673 — 반도체 웨이퍼의 비저항 또는 반도체 필름의 시트 저항을 측정하기 위한 테스트 방법 비접촉 와전류 게이지

SEMI MF847 — X-Ray 기술로 단결정 실리콘 웨이퍼에서 플랫의 결정학적 방향을 측정하기 위한 테스트 방법

SEMI MF978 — 과도 커패시턴스 기술로 반도체 딥 레벨을 특성화하는 테스트 방법

SEMI MF1188 - 짧은 기준선으로 적외선 흡수에 의한 실리콘의 격자간 산소 함량에 대한 테스트 방법

SEMI MF1390 — 자동 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 휨 및 휨을 측정하는 테스트 방법

SEMI MF1391 — 치환 원자 탄소에 대한 테스트 방법 적외선 흡수에 의한 실리콘 함량

SEMI MF1617 — 2차 이온 질량 분석법으로 실리콘 및 에피 기판의 표면 나트륨, 알루미늄, 칼륨 및 철 측정을 위한 테스트 방법

SEMI MF1810 — 실리콘 웨이퍼에서 우선적으로 에칭되거나 장식된 표면 결함을 계산하기 위한 테스트 방법

SEMI MF1982 — 열 탈착 가스 크로마토그래피로 실리콘 웨이퍼 표면의 유기 오염 물질을 분석하는 테스트 방법

SEMI PV1 — 고질량 분해능 글로우 방전 질량분석법으로 실리콘 태양 전지용 실리콘 공급원료의 미량 원소를 측정하는 테스트 방법

SEMI PV9 — 짧은 조명 펄스 후 마이크로파 반사율의 비접촉 측정에 의한 PV 실리콘 재료의 과도한 전하 캐리어 붕괴에 대한 테스트 방법

SEMI PV13 — 와전류 센서를 사용하여 실리콘 웨이퍼, 잉곳 및 브릭에서 비접촉식 초과 전하 캐리어 재결합 수명 측정을 위한 테스트 방법

SEMI PV25 — 2차 이온 질량분석기로 태양광 실리콘 웨이퍼 및 공급원료의 산소, 탄소, 붕소 및 인을 동시에 측정하는 테스트 방법

SEMI PV28 — 단면 비접촉식 와전류 게이지로 비저항 또는 시트 저항을 측정하는 테스트 방법

SEMI PV39 — 암시야 적외선 이미징을 통한 PV 실리콘 웨이퍼의 크랙 인라인 측정을 위한 테스트 방법

SEMI PV40 — 다중 라인 세그먼트를 사용하는 광절단 기술에 의한 PV 실리콘 웨이퍼의 톱 자국 인라인 측정을 위한 테스트 방법

SEMI PV41 — 정전 용량 프로브를 사용하여 PV 애플리케이션용 실리콘 웨이퍼의 두께 및 두께 변화를 인라인 비접촉식으로 측정하는 테스트 방법

SEMI PV52 — 결정립 크기에 관한 광전지 실리콘 웨이퍼의 인라인 특성화를 위한 테스트 방법

개정 내역

SEMI PV22-0321(기술 개정)

SEMI PV22-0817(기술 개정)

SEMI PV22-0716(기술 개정)

SEMI PV22-1011(최초 게시 – SEMI M6 대체)

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