SEMI PV22 - 太陽光電池用시리콘웨하노사 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000

Volume(s): Photovoltaic
Language: Japanese



Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI PV22-1011 - 대체됨

개정

Abstract

本standardは, global Photovoltaic Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日, global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年10にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 거래가 가능합니다.

 

本仕様は光起電性(PV)太陽光電池の製造に使われるシリコンウェーハに対する要求事項につい取扱う.多数の製造lineに使われるproses装置を共通にするためには, weer-ha寸法を標準化することが必須である。

 

本仕様は現在光起電性用途に広く使われているsizeを基本にしたシリコンウェーハの標準化された寸法 およびある他の共通特性を備えている.

 

새로운しい要求が商業取引で簡単にかつ矛盾なく指定できる。

참조된 SEMI 표준

SEMI M35 — 자동 검사로 감지되는 실리콘 웨이퍼 표면 특징에 대한 사양 개발 가이드


SEMI M44 - 실리콘의 침입형 산소에 대한 변환 계수 가이드


SEMI M53 - 패턴이 없는 반도체 웨이퍼 표면에 단분산 폴리스티렌 라텍스 구체의 증착을 사용하여 스캐닝 표면 검사 시스템을 교정하기 위한 실습


SEMI M58 — DMA 기반 입자 증착 시스템 및 프로세스를 평가하기 위한 테스트 방법


SEMI M59 — 실리콘 기술 용어


SEMI MF26 — 반도체 단결정의 배향 결정을 위한 테스트 방법


SEMI MF42 — 외부 반도체 재료의 전도성 유형에 대한 테스트 방법


SEMI MF84 — 인라인 4점 프로브로 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법


SEMI MF391 — 정상 상태 표면 광전압 측정을 통한 외부 반도체의 소수 캐리어 확산 길이 테스트 방법


SEMI MF533 — 실리콘 웨이퍼의 두께 및 두께 변화에 대한 테스트 방법


SEMI MF657 — 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 휨 및 전체 두께 변화를 측정하는 테스트 방법


SEMI MF673 — 비접촉식 와전류 게이지로 반도체 웨이퍼의 비저항 또는 반도체 필름의 시트 저항을 측정하는 테스트 방법


SEMI MF847 — X-Ray 기술로 단결정 실리콘 웨이퍼에서 플랫의 결정학적 방향을 측정하기 위한 테스트 방법


SEMI MF978 — 과도 커패시턴스 기술로 반도체 딥 레벨을 특성화하는 테스트 방법


SEMI MF1617 — 2차 이온 질량 분석법으로 실리콘 및 에피 기판의 표면 나트륨, 알루미늄, 칼륨 및 철 측정을 위한 테스트 방법


SEMI MF1810 — 실리콘 웨이퍼에서 우선적으로 에칭되거나 장식된 표면 결함을 계산하기 위한 테스트 방법


SEMI MF1982 — 열 탈착 가스 크로마토그래피로 실리콘 웨이퍼 표면의 유기 오염 물질을 분석하는 테스트 방법


SEMI PV1 — 고질량 분해능 글로우 방전 질량분석법으로 실리콘 태양 전지용 실리콘 공급원료의 미량 원소를 측정하는 테스트 방법


SEMI PV9 — 짧은 조명 펄스 후 마이크로파 반사율의 비접촉 측정에 의한 PV 실리콘 재료의 과도한 전하 캐리어 붕괴에 대한 테스트 방법


SEMI PV13 — 와전류 센서를 사용하여 실리콘 웨이퍼, 잉곳 및 브릭에서 비접촉식 초과 전하 캐리어 재결합 수명 측정을 위한 테스트 방법



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