SEMI PV17 - 태양광 애플리케이션용 버진 실리콘 공급원료 사양 -

Abstract

실리콘은 성장하는 광전지(PV) 산업의 핵심 소재 중 하나입니다. 실리콘으로 만들어진 태양 전지는 앞으로 수년 동안 제조될 것입니다. Si 공급원료 재료를 공급하거나 구매하는 새로운 당사자들이 이 산업에 진입하고 있습니다.

　

더 많은 양과 더 비용 효율적인 공급원료 Si에 대한 요구는 야금 정제 방법의 개발을 촉발시켰습니다. 또한 기존 Siemens 프로세스를 수정하는 새로운 방법을 조사하여 대량 제조에 도입했습니다. 정제 방법의 개발과 동시에 다양한 결정화 기술과 태양 전지 설계가 각각 특정 물질 특성을 필요로 하여 산업 및 연구 기관에서 조사되었습니다. 공급원료 품질, 단결정 및 다결정 잉곳, 최종적으로 태양 전지 성능 사이의 모든 관계를 설명하려면 다차원 매개변수 공간이 필요합니다. 이로 인해 수많은 인터페이스 문제가 발생하여 공급업체와 고객 간의 관계가 저해되고 대량 생산 및 빠르게 성장하는 산업에 적합하지 않습니다.

　

Si 공급원료 재료에 대한 표준화된 사양은 이러한 인터페이스 문제를 줄이고 재료 특성 및 용어에 대한 공통된 이해를 가능하게 하여 태양 전지 잉곳의 안정적인 제조를 허용하고 모든 당사자에게 도움이 될 것으로 예상됩니다.

　

이 사양은 CVD 공정, 야금 정제 공정 또는 기타 공정으로 생산된 처녀 실리콘 공급 원료 물질을 다룹니다. CVD 공정에는 소위 Siemens 공정, 유동층 공정, 분말 공정 및 증류된 실란 또는 할로실란 화합물을 사용하는 기타 공정이 포함됩니다.

　

이러한 특정 재료는 태양 전지용 Si 웨이퍼 생산에 사용되는 단결정 잉곳 및 주조 또는 기타 다결정 Si 성장 방법의 성장을 위한 것입니다.

　

이 사양은 비정질 또는 미세정형 Si 제품과 같은 박막 태양광 제품 제조에 사용되는 재료를 위한 것이 아니지만 특정 응용 분야에 적합할 경우 사용할 수 있습니다.

　

이 사양은 순수 실리콘 공급 원료에만 적용되며 반도체 산업에서 나오는 스크랩이나 폐기물에는 적용되지 않습니다.

　

이 사양은 혼합된 재료의 용융물에 대한 지침으로 사용될 수 있지만 재료 혼합을 지정하기 위한 것이 아닙니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI M44 –– 실리콘의 침입형 산소에 대한 변환 계수 가이드
SEMI MF28 – 광전도성 감쇠 측정을 통한 벌크 게르마늄 및 실리콘의 소수 캐리어 수명 테스트 방법
SEMI MF84 –– 인라인 4점 프로브로 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF391 – 정상 상태 표면 광전압 측정에 의한 외부 반도체의 소수 캐리어 확산 길이 테스트 방법
SEMI MF397 –– 2점 프로브를 사용한 실리콘 바의 비저항 테스트 방법
SEMI MF723 –– Boron-Doped, Phosphorous-Doped 및 Arsenic-Doped Silicon에 대한 비저항과 Dopant 또는 Carrier Density 간의 변환 실습
SEMI MF1188 –– Short Baseline의 적외선 흡수에 의한 실리콘의 격자간 산소 함량 테스트 방법
SEMI MF1389 –– III-V 불순물에 대한 단결정 실리콘의 광발광 분석을 위한 테스트 방법
SEMI MF1391 –– 적외선 흡수에 의한 실리콘의 치환원자탄소 함량 시험방법
SEMI MF1528 — 2차 이온 질량 분석법으로 고농도로 도핑된 n형 실리콘 기판의 붕소 오염을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF1535 –– 마이크로웨이브 반사율에 의한 광전도 감쇠의 비접촉 측정에 의한 실리콘 웨이퍼의 캐리어 재결합 수명 테스트 방법
SEMI MF1630 –– III-V 불순물에 대한 단결정 실리콘의 저온 FTIR 분석을 위한 테스트 방법
SEMI MF1708 –– Melter-zoner Spectroscopies에 의한 Granular Polysilicon 평가 실습
SEMI MF1723 –– Float-zone 결정 성장 및 분광법에 의한 다결정 실리콘 막대 평가 실습
SEMI PV1 — 고질량 분해능 글로우 방전 질량분석법으로 실리콘 태양 전지용 실리콘 공급원료의 미량 원소를 측정하는 테스트 방법
SEMI PV10 - 실리콘의 INAA(Instrumental Neutron Activation Analysis)를 위한 테스트 방법
SEMI PV25 — 2차 이온 질량분석기로 태양광 실리콘 웨이퍼 및 공급원료의 산소, 탄소, 붕소 및 인을 동시에 측정하는 테스트 방법

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