SEMI PV13 - 와전류 센서를 사용하여 실리콘 웨이퍼, 잉곳 및 브릭에서 비접촉식 과잉 전하 캐리어 재결합 수명 측정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

초과 전하 캐리어(이하 '과잉 캐리어'라고 함) 재결합 수명은 실리콘 태양 전지 장치 설계, 생산 및 공정 제어의 핵심 매개변수입니다. 초과 캐리어 밀도에 따라 달라지는 이 수명 측정은 물리적으로 중요한 결과를 산출하므로 태양 전지의 설계 최적화 및 효율성 예측이 가능합니다. 테스트 방법은 또한 이 재결합 수명을 보다 근본적인 측면에서 추가로 분석할 수 있는 방법을 설명합니다. 벌크 수명, 표면과 같은 태양 전지에 중요한 매개 변수 재결합 속도 또는 도펀트의 이미 터 포화 전류 밀도 확산. 이 테스트 방법에는 준정상 상태에 의한 측정이 포함됩니다. 와전류 센서를 사용하는 광전도(QSSPC) 및 과도 기술.

이 표준은 0.1 ~ 15,000µs 범위의 캐리어 재결합 수명을 가진 실리콘 웨이퍼, 잉곳 및 브릭의 초과 캐리어 수명을 측정하는 방법을 설명합니다.

측정은 웨이퍼 시편의 경우 1 × 1013 cm ^-3 ~ 2 × 1016 cm ^-3 , 벌크 시편의 경우 1 × 1013 cm ^-3 ~ 5 × 1015 cm ^-3 (1보다 두꺼운 센티미터).

여기에 설명된 방법은 0.1 Ω∙cm에서 10000 Ω∙cm 범위의 저항률을 가진 시편에 사용됩니다.

이 표준은 4가지 측정 방법론을 설명합니다. 각각 2개는 웨이퍼 또는 벌크 실리콘 시편 평가용입니다. 모든 측정 기술은 무선 주파수와 조명원에서 활성화된 유도 코일(와전류) 센서를 사용하여 수행됩니다. 두 가지 방법은 광 생성을 측정하기 위해 광도 검출기가 필요한 QSSPC 기술을 사용합니다. 이 문서의 범위는 또한 사용할 교정 방법을 다룹니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI M59 — 실리콘 기술 용어

SEMI MF28 — 광전도성 붕괴 측정을 통한 벌크 게르마늄 및 실리콘의 소수 캐리어 수명 테스트 방법

SEMI MF43 - 반도체 재료의 비저항 테스트 방법

SEMI MF84 — 인라인 4점 프로브로 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법

SEMI MF533 — 실리콘 웨이퍼의 두께 및 두께 변화에 대한 테스트 방법

SEMI MF723 - 붕소 도핑, 인 도핑 및 비소 도핑 실리콘에 대한 비저항과 도펀트 밀도 간 변환 실습

개정 내역

SEMI PV13-0714 (재승인 0121)

SEMI PV13-0714(기술 개정)

SEMI PV13-0813(기술 개정)

SEMI PV13-1111(기술 개정)

SEMI PV13-0211(초판)

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