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SEMI PV1 - 고품질 시리콘 太陽電池用 시리콘原料中の微量元素測定に関する test方法 -
Abstract
本standanardは， global Photovoltaic Committee で技術的に承認されている。現版は2010年12月21日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年2にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 거래가 가능합니다 .
このtest方法はバルクシリコン原料中の微量不純物元素，特にシリコン太陽電池の性能に影響を与えるものの管理に用いることができる.
- 太陽電池ウェーハの目標barrk抵抗率に影響を与える故意mataは偶然に添加されたドーパント濃度
- 太陽電池ウェーハの少数カリアライフタイムを劣化させる金属（例：鉄）やその他の不純物の濃度
このtest方法は単結晶matataは多結晶シリコンウェーハの製造に用いられるシリコン原料の品質CHECKや製品認定に用いることができる.
このtest方法はシリコン原料，単結晶または多結晶シリコン等の製造prosesや製品の研究と開発に用いることができる。
このtest方法は単結晶matataは多結晶シリコン太陽電池の不良mataは性能劣化の評価に用いることができる.
このtest方法は購入，販売，matataは内部管理用に研究や開発支援，製品品質のmonita-や認定する際の世界中の分析測定施設共の通プロトコルと測定データを提供するために用いる ことができる.
日常の測定における大部分の元素の検出限界は100 µg/kg ( 1-100 ppbwt )である.
참조된 SEMI 표준
SEMI MF28 — 광전도 감쇠 측정을 통한 벌크 게르마늄 및 실리콘의 소수 캐리어 수명 테스트 방법
SEMI MF43 - 반도체 재료의 비저항 테스트 방법
SEMI MF84 — 인라인 4점 프로브로 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF391 — 정상 상태 표면 광전압에 의한 외부 반도체의 소수 캐리어 확산 길이 테스트 방법
SEMI MF397 — 2점 프로브를 사용한 실리콘 바의 비저항 테스트 방법
SEMI MF525 — 확산 저항 프로브를 사용하여 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF673 — 비접촉식 와전류 게이지로 반도체 웨이퍼의 비저항 또는 반도체 필름의 시트 저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF1389 — III-V 불순물에 대한 단결정 실리콘의 광발광 분석을 위한 테스트 방법
SEMI MF1535 — 마이크로파 반사율에 의한 광전도 감쇠의 비접촉 측정에 의한 실리콘 웨이퍼의 캐리어 재결합 수명 테스트 방법
SEMI MF1630 — III-V 불순물에 대한 단결정 실리콘의 저온 FT-IR 분석을 위한 테스트 방법
SEMI MF1724 — 산 추출-원자 흡수 분광법에 의한 다결정 실리콘의 표면 금속 오염 측정을 위한 테스트 방법
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