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SEMI P42 - 웨하 빛광 시스템의 자동 레시피보타메 레치크루데이타의 교체 -
Abstract
알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.
免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
本仕様は, Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので，Japanese Micropatterning Committeeが直接責任を負うものである.現版は，200年月9日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2004年2月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2004年3月発行に至る.
알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.
本仕様では,we-ha露光ツル用にレシピを準備するためのレチクルデータのフレーム情報から構成される共通データインタフェースを定義する。より, weerha露光ツールでレシピを作成する 時にデータを再使用できるように，設計とウェーハ製造の間でデーターを取り扱うことができるようになる。本standadeは，weーハ露光ツールの自動レシピ生成を支援する ことを意図している.
本standadeでは，weerha露光装置の自動レシピ作成におけるフレーム情報について詳述する。本standadeは，設計，mask製作，we-ha製造prosesの業フローにおける通信インタフェースに焦点を当てる.
本standardでは，we-ha露光装置のレチクル設計およびレシピ作成時に必要な共通設計情報の項目を定義する。
本standadeでは，sapraiyyや露光装置の型式に依存せずに共通に使用可能なデータインタフェースについて定義する。
참조된 SEMI 표준
없음.
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