SEMI P36 - 중요 치수 측정 주사 전자 현미경(CD-SEM)의 배율 참조 가이드 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): Microlithography
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI P36-1108(0913 재승인) - 비활성

개정

Abstract

이 가이드의 목적은 (1) 임계 치수 측정 주사 전자 현미경(CD-SEM)의 배율을 교정하는 데 사용되는 배율 기준의 공통적이고 중요한 사양을 정의하고 결과적으로 (2) 다음과 같은 배율 기준을 제공하는 것입니다. 누구나 쉽게 사용할 수 있습니다.

　

CD-SEM 배율 참조에 대한 설계, 제조 및 구매 사양은 이 가이드를 따르는 것이 바람직합니다.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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