SEMI P34 - 230mm 정사각형 포토마스크 기판 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 Micropatterning Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2007년 4월 25일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2007년 6월에 www.semi.org에서 사용할 수 있었습니다. 원래는 2000년 2월에 출판되었습니다.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

공칭 가장자리 길이가 230mm인 공칭 정사각형 포토마스크 기판에 대한 표준 요구 사항을 정의합니다.

이 사양은 230mm 정사각형 포토마스크용 기판에 관한 정보를 다룹니다. 이 정보에는 물리적 치수, 재료 특성, 테스트 및 측정 기준이 포함되지만 이에 국한되지 않습니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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