SEMI P32 - 포트레지스트중간트레이스메탈정량에 관한 정보를 제공하는 방법 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本試験方法は， Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので，Japanese Micropatterning Committeeが直接責任を負うものである.現版は2004年7月23日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。 2004年8月にまずwww.semi.orgで入手可能になり， 2004年11月発行に至る.初版は1998年9月発行.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

このドキュment は，Tressmetal 濃度に関しての定量的な分析方法の概略（개략）を記述する.れる事を意図している.

このドキュmentトは原子吸光分光法，프라즈마이온源質量分光法そして誘導結合prazma原子発光分光法のような機器分析によって，フォトレジストのトレースメタル濃度をpp 브레벨로 결정하는 일을 할 수 있습니다.

이 결정으로 の対象金属は, Al ,Ca ,Cr ,Cu ,Fe ,Mg ,Mn ,Ni ,KそしてNaである.

金属を追加したり減じる事は，ユーザとサプライヤ間の合意により，そして測定listに加える.

以下に述べる方法は，対象のトレースmetalのそれぞれに対して指定した値において，트레이스메탈の不純物量を決定するのに満足すべき結果を与える.代替の方法あるいは条件は，仕様値の半分の濃度既知山プルで， 75% ～125%の（分析での）回収率を適切な研究で証明する限り使う事ができる。その結果は，仕様の範囲内（ある値以下）として，あるいは単に仕様内でないとして報告されるべきである(SEMI C1 )。

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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