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SEMI P30 - 寸法測定用走査型電子顕微鏡（CD-SEM）の目録発行の実施要領 -
Abstract
알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.
免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
本stanダードは， Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので，Japanese Micropatterning Committeeが直接責任を負うものである。現版は2004年7月23日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。2004年9月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2004年11月発行に至る.初版は1997年発行.
알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.
本実施要領の目的は，寸法走査型電子顕微鏡（ CD-SEM ）に記載される用語を定義することにある。
本文書は，ユーザとされるものである.
本実施要領は， CD-SEMの目録に記載される用語に適用される。
本実施要領はまた，見積及び購入仕様書に記載される用語にも適用される.
참조된 SEMI 표준
없음.
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