SEMI P7 - 점도 결정 시험 방법, 방법 A - 동점도 -

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Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): Microlithography
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
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개정: SEMI P7-1111 - 비활성

개정

Abstract

이 표준은 Micropatterning Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 9월 12일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 1982년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2003년 11월.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 절차는 포토레지스트의 운동학적 점도를 결정하는 방법을 설명합니다.

ASTM D445 및 ASTM F66의 단순화된 버전인 이 방법은 고정된 온도에서 보정된 유리 모세관을 통해 중력 하에서 액체 부피가 흐르는 시간을 측정하여 포토레지스트의 동점도를 결정하기 위한 것입니다. 유출 시간은 초 단위로 측정되고 점도계의 보정 상수를 곱하여 동점도를 센티스토크(cSt) 단위로 구합니다. 선택적으로, 센티푸아즈(cP) 단위의 동적 점도를 얻기 위해 동점도에 포토레지스트의 밀도를 곱할 수 있습니다. 추가 정보 및 정의는 ASTM D445 및 ASTM F66을 참조하십시오.

참조된 SEMI 표준

없음.

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