SEMI P5 - 펠리클 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): Microlithography
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI P5-0416(재승인 1221) - 현재

개정

Abstract


이 사양은 포토리소그래피 노광 시스템의 포토마스크 또는 레티클에 사용되는 펠리클에 대한 일반 요구 사항을 다룹니다.


이 사양은 광대역, 다색 또는 단색 노광 시스템에서 사용하기 위한 펠리클을 다룹니다.

 

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

 

개정 내역

SEMI P5-0416(재승인 1221)

SEMI P5-0416(기술 개정)

SEMI P5-0704(기술 개정)

SEMI P5-94(재승인 1103)

SEMI P5-94(기술 개정판)

SEMI P5-92(기술 개정판)

SEMI P5-86(최초 발행)

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

Customer Reviews

Be the first to write a review
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)
0%
(0)

You May also Like