SEMI P1 - 경질 표면 포토마스크 기판 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): Microlithography
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI P1-0708E - 비활성

개정

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

알림: 이 문서는 2008년에 완전히 재작성되었습니다.

　

이 사양은 하드 표면 포토마스크용 유리 기판의 일반 요구 사항을 다룹니다.

 

이 문서는 최대 7인치 길이의 정사각형 포토마스크를 다룹니다.

　

이 문서는 또한 다음 자료에 대한 사양을 제공합니다.

  • 높은 열팽창(HTE),
  • 중간 열팽창(MTE),

  • 낮은 열팽창(LTE),

  • 합성 용융 실리카(SFS),

  • 193nm 파장용 내구성 합성 용융 실리카(DSFS) 유리.

    • 　

    참조된 SEMI 표준

    없음.

    Interested in purchasing additional SEMI Standards?

    Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

    Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

    Customer Reviews

    Be the first to write a review
    0%
    (0)
    0%
    (0)
    0%
    (0)
    0%
    (0)
    0%
    (0)

    You May also Like