SEMI MS9 - 미세 유체 장치 간의 고밀도 영구 연결 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): MEMS
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI MS9-0611 - 비활성

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 MEMS/NEMS 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2011년 5월 13일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2011년 6월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

 

이 표준은 영구 미세 유체 인터페이스에 대한 상호 연결 치수 및 성능 요구 사항에 대한 사양을 제공합니다. 또한 인터페이스 디자인에 대한 지침도 제공합니다. 이는 플라스틱 튜브 어댑터, 플라스틱 미세유체 카트리지 및 전자유체 장치 사이에 고밀도 영구 인터페이스가 있는 제품의 저비용 및 대량 제조를 가능하게 하는 데 도움이 될 것입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양


SEMI MS7 — 전자 장치 패키지에 대한 미세유체 인터페이스 사양


SEMI MS8 — MEMS 패키지의 밀폐성 평가 가이드



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