SEMI MS7 - 전자 장치 패키지에 대한 미세유체 인터페이스 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩245,000

Volume(s): MEMS
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI MS7-0708 - 비활성

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 MEMS 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2008년 5월 13일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2008년 6월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다.

 

이 문서는 전자 장치와의 유체 인터페이스에 대한 산업 표준을 정의합니다. 이 사양은 연결 속성을 설명하고 이 표준을 준수하는 장치 및 시스템을 설계하고 구축하는 데 필요한 인터페이스 치수를 지정합니다. 목표는 서로 다른 공급업체의 장치가 개방형 아키텍처를 통해 상호 연결되도록 하는 것입니다.

 

이 사양은 전자 장치와 유체 공학의 조합을 통합하는 최첨단 전자 장치 기술에 대한 향상된 기능을 제공하기 위한 것입니다. 이는 장치 사용자에게 구식 인터페이스, 호환성 및 선택권 상실의 부담 없이 제품 다양성 및 시장 차별화를 위한 적절한 공간을 제공하기 위한 것입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI MS6-0308 - 미세 유체 시스템 인터페이스를 위한 설계 및 재료 가이드

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