SEMI MF154 - 경면 실리콘 표면에서 보이는 구조 및 오염 물질 식별을 위한 가이드 -

Abstract

이 안내서의 목적은 고반사성 실리콘 웨이퍼에서 볼 수 있는 다양한 특징과 오염 물질을 나열하고 설명하며 참조를 제공하는 것입니다.

표면 결함에 관한 모호함과 불확실성은 이 가이드를 참조하여 해결할 수 있습니다.

이 가이드와 실리콘 웨이퍼 구매에 사용되는 공통 사양 사이에는 밀접한 관련이 있습니다.

이 안내서에는 거울 실리콘 표면에서 가장 일반적으로 관찰되는 독특하게 식별 가능한 구조의 모음집이 포함되어 있습니다.

이러한 아티팩트의 묘사 및 관찰에 대한 권장 사례가 참조됩니다. 이 가이드에 설명된 아티팩트는 SEMI M1, SEMI M57 및 기타 실리콘 웨이퍼 사양의 주문 항목에 대한 사양 양식의 내용을 병렬화하고 지원하기 위한 것입니다.

이러한 아티팩트와 공통 동의어는 표 1과 2에 알파벳순으로 정리되어 있으며 그림 1~79에 설명되어 있습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양

SEMI M35 — 자동 검사로 감지되는 실리콘 웨이퍼 표면 특징에 대한 사양 개발 가이드

SEMI M57 — 실리콘 어닐링 웨이퍼 지정 사양

SEMI M59 — 실리콘 기술 용어

SEMI MF523 - 연마된 실리콘 웨이퍼 표면의 육안 검사 실습

SEMI MF1725 - 실리콘 잉곳의 결정학적 완전성 분석 실습

SEMI MF1726 — 실리콘 웨이퍼의 결정학적 완벽도 분석 실습

SEMI MF1727 - 연마된 실리콘 웨이퍼에서 산화로 인한 결함 검출을 위한 실습

SEMI MF1809 - 에칭 선택 및 사용 가이드 실리콘의 구조적 결함을 기술하는 솔루션

SEMI MF1810 — 실리콘 웨이퍼에서 우선적으로 에칭되거나 장식된 표면 결함을 계산하기 위한 테스트 방법

개정 내역

SEMI MF154-1105 (재승인 1221)

SEMI MF154-1105 (재승인 0316)

SEMI MF154-1105 (재승인 0611)

SEMI MF154-1105(기술 개정)

SEMI MF154-0305(기술 개정)

SEMI MF154-02(SEMI 최초 발행)

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