MEMS 기술 온라인 과정

MEMS(Microelectromechanical Systems)는 기존 시스템을 소형화하겠다는 약속으로 대중의 관심을 끌었습니다. MEMS를 둘러싼 흥분은 많이 가라앉았지만 실제 애플리케이션이 등장하기 시작했습니다. 게임, 자동차 및 무선 애플리케이션을 위한 MEMS 가속도계가 등장했습니다. MEMS 잉크젯 칩은 현재 유비쿼터스이며 RF 및 센서를 위한 새로운 애플리케이션이 개발 중입니다. MEMS의 가장 어려운 측면 중 하나는 패키징입니다. 일반적으로 중규모 물체에 영향을 미치지 않는 힘은 마이크로 규모에서 이해하고 제어해야 합니다. 이로 인해 이러한 구성 요소의 패키징과 관련된 많은 문제가 발생했습니다. MEMS 기술은 MEMS 장치의 설계, 처리, 패키징 및 신뢰성에 대한 자세한 지침을 제공하는 온라인 과정입니다. 또한 DRIE(Deep Reactive Ion Etching), 표면 대 부피 비율 문제, 정전기, 액체 습윤, 관성 및 기타 매개변수를 다룹니다.