SEMI M80 - 450mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개봉 배송 상자 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 표준은 웨이퍼 품질을 유지하면서 웨이퍼 공급업체에서 고객(일반적으로 IC 제조업체)에게 450mm 웨이퍼를 배송하는 데 사용되는 FOSB(Front-Opening Shipping Box)를 지정합니다.

이 표준은 최소한의 위치에 적절한 사양 수준을 설정하기 위한 것입니다. 모든 기계적 상호 운용성을 보장하면서 혁신에 대한 제한 인터페이스.

이 표준은 450 FOSB가 Si 공급업체에서 검사 후 원시 실리콘 웨이퍼를 로드하는 데 사용되고 승인 및 검사에도 사용되며 이후 원시 실리콘 웨이퍼가 장치 제조업체에서 다른 캐리어로 이송되는 것으로 가정합니다. 450 FOSB는 IC 제조 공정에 사용하기 위한 것이 아닙니다. 자동화된 방법을 사용하여 웨이퍼를 450 FOSB에서 450 FOUP로 이송하는 것이 좋습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E144 — 캐리어의 RFID 태그와 반도체 생산 및 자재 취급 장비의 RFID 판독기 사이의 RF 에어 인터페이스 사양

SEMI E154 — 450mm 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양

SEMI E158 — 450mm 웨이퍼(450 FOUP) 및 키네마틱 커플링을 운송 및 보관하는 데 사용되는 FAB 웨이퍼 캐리어의 기계적 사양

SEMI E162 — 450mm 전면 개방 배송 상자 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양

SEMI M74 — 450mm 직경의 기계적 취급 광택 웨이퍼 사양

개정 내역

SEMI M80-0116(기술 개정)

SEMI M80-0514(기술 개정)

SEMI M80-0812(기술 개정)

SEMI M80-1111(초판)

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