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SEMI M80 - 450 mm웨하노구출용 프런트 오픈・싱핑복스의 기계 -
Abstract
免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 利用 にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「 「べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
本standared는, Silicon Wafer Global Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2014年1 月24日，global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2014年5 月にwww.semiviews. org およびwww.semi.org 에서는 初版は2011年11 月発行。前版は2012 年8 月発行。
本standadard は，weーハの品質を維持しながら，WeーHasaPraiyヤから顧客（主主にIC製造者）へ450 mm径weーharを搬送するのに用 される후론트오프닝식 핑복스( 전면 개봉 배송 상자: FOSB )(을 )를 결정하세요.
本standardが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，相互運用性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定める ことである.
本standadeードが想定しているのは， 450 FOSBはシリコン供給者において検査後 ベアウェーが450 FOSBに詰められ，た，デバイスマーカーにおいて受け入れ，検査，および他のカリアに詰めかえる工程に使われることであり, IC製造proses工程で使うことは想定していない。We-haは自動化された装置によって450 FOSB 에서 450 FOUP に詰め替えられる ことが望ましい。
참조된 SEMI 표준
SEMI E144 — 캐리어의 RFID 태그와 반도체 생산 및 자재 취급 장비의 RFID 판독기 사이의 RF 에어 인터페이스 사양
SEMI E154 — 450mm 로드 포트에 대한 기계적 인터페이스 사양
SEMI E158 — 450mm 웨이퍼(450 FOUP) 및 키네마틱 커플링을 운송 및 보관하는 데 사용되는 FAB 웨이퍼 캐리어의 기계적 사양
SEMI M74 — 450mm 직경의 기계적 취급 광택 웨이퍼 사양
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