SEMI M75 - 연마된 단결정 갈륨 안티몬화물 웨이퍼 사양 -

Member Price: ₩113
Non-Member Price: ₩246,000

Volume(s): Materials
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
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개정: SEMI M75-0816 - 비활성

개정

Abstract

　

이 문서의 목적은 갈륨 안티몬화물(GaSb) 단결정 재료의 원형 웨이퍼 조달 및 공급에 지정되는 매개변수에 대한 표준 설명을 정의하는 것입니다.

　

이 사양은 둥글고 평평한 GaSb 웨이퍼 조달에 필요한 정보와 이러한 웨이퍼 공급을 위한 표준 치수 및 방향 규칙을 다룹니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI MF26 — 반도체 단결정의 배향 결정을 위한 테스트 방법
SEMI MF671 — 실리콘 웨이퍼 및 기타 전자 재료의 평면 길이 측정을 위한 테스트 방법
SEMI T5 — 원형 갈륨 비소 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양

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