SEMI M49 - 130nm에서 65nm까지의 최신 시리콘 웨하용 지오메트리 정정 시스템 정정의 가이드 -

Abstract

本gaidはInternational Technology Roadmap for Semiconductors ： 1999 edition (ITRS )によって予測され,主要半導体debaisme-ca-が計画している, 130 , 90 , 65 nm技術世代のシリコンウェーハのgiometry および平坦度についての測定시스템を規定するための推奨事項を提供するものである。 SEMI M1 ， SEMI M8 ， SEMI M11 ， SEMI M24 ， SEMI M38に義されている웨하하파라메타は，시리콘웨하・사프라이야니와 定ては顧客によって指定され, 通常適合性証明の一部となる。시리콘웨하・사프라이야 および顧客は，これらのparameterを，異なるメーカーの装置を使用するか，あるいは同じsapraidadeも異なる世代の装置を使用して測定することがある。測定시스템の基本的な特徴および能力に関する合意は，適切なsystemの調達to同様，データ交換およびデータ解釈を改善する。

참조된 SEMI 표준

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양
SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성, 유지보수성(RAM) 및 활용도의 정의 및 측정을 위한 사양
SEMI E19 — SMIF(Standard Mechanical Interface) 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E37 - 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E47 — 150mm/200mm 포드 핸들 사양
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양
SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI E89 — 측정 시스템 분석(MSA) 가이드
SEMI E158 — 450mm 웨이퍼(450 FOUP) 및 키네마틱 커플링을 운송 및 보관하는 데 사용되는 Fab 웨이퍼 캐리어의 기계적 사양
SEMI E159 — 450mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 MAC(Multi Application Carrier)의 기계적 사양
SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M8 — 연마된 단결정 실리콘 테스트 웨이퍼 사양
SEMI M12 — 웨이퍼 전면의 일련의 영숫자 마킹 사양
SEMI M13 — 실리콘 웨이퍼의 영숫자 마킹 사양
SEMI M24 — 연마된 단결정 실리콘 프리미엄 웨이퍼 사양
SEMI M31 — 300mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자의 기계적 특징에 대한 사양
SEMI M38 — 광택 재생 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M43 - 웨이퍼 나노토포그래피 보고 가이드
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI M62 — 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양
SEMI M67 — ESFQR, ESFQD 및 ESBIR 메트릭을 사용하여 측정된 두께 데이터 어레이에서 웨이퍼 니어 에지 형상 결정을 위한 실습
SEMI M68 — 곡률 측정법 ZDD를 사용하여 측정된 높이 데이터 배열에서 웨이퍼 근방 형상 결정을 위한 연습
SEMI M73 — 측정된 웨이퍼 에지 프로파일에서 관련 특성을 추출하기 위한 테스트 방법
SEMI M80 — 450mm 웨이퍼 운송 및 배송에 사용되는 전면 개방 배송 상자 사양
SEMI MF42 — 외부 반도체 재료의 전도도 유형 테스트 방법
SEMI MF84 — 인라인 4점 프로브로 실리콘 웨이퍼의 비저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF534 — 실리콘 웨이퍼의 휨에 대한 테스트 방법
SEMI MF657 — 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 휨 및 전체 두께 변화를 측정하는 테스트 방법
SEMI MF671 — 실리콘 웨이퍼 및 기타 전자 재료의 평면 길이 측정을 위한 테스트 방법
SEMI MF673 — 비접촉식 와전류 게이지로 반도체 웨이퍼의 비저항 또는 반도체 필름의 시트 저항을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF928 — 원형 반도체 웨이퍼 및 경질 디스크 기판의 가장자리 윤곽에 대한 테스트 방법
SEMI MF1152 — 실리콘 웨이퍼의 노치 치수 테스트 방법
SEMI MF1390 — 자동 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 휨 및 휨을 측정하는 테스트 방법
SEMI MF1451 — 자동 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 소리를 측정하는 테스트 방법
SEMI MF1530 — 자동 비접촉 스캐닝으로 실리콘 웨이퍼의 편평도, 두께 및 두께 편차를 측정하는 테스트 방법
SEMI MF2074 — 실리콘 및 기타 반도체 웨이퍼의 직경 측정 가이드
SEMI T7 — 2차원 매트릭스 코드 기호가 있는 양면 연마 웨이퍼의 후면 마킹 사양

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