SEMI M46 - ECV 법에 따라 에피타키시야의 캘리 아 인 도 프로 파 일을 확신 하는 방법 -

Abstract

本standanardは，Global Compound Semiconductor Committeeで技術的に承認されている。現版は2008年11 月19日、global Audits and Review Subcommittee にて発行が承認された。 2009 年2 月www.semi.org で， 2009 년 3 월 CD-ROM 으로 入手可能となる.

E 本文書は2001年11月に編集上の修正がなされた.¶ 7.3.3 について変更がなされた.

本文書の目的は，에피타키시ァル層のカリア濃度深さプロファイルを電気化学캐파시탄스보르테이지（ECV）ProfァIringによって，測定する方法を規定する ことであ루。

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C1 — 액체 화학물질 분석 가이드

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