SEMI M44 - 시리콘중의 酸素の換算係数가이드 -

Abstract

本standared는, 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年12 月21日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2011年2 月にwww.semiviews.org およびwww.semi.orgで入手可能となる。

何年にもわ たり， 1107 cm - 1に於ける室温での赤外線吸収ピークからシリコン中の格子間酸素濃度を計算すのに用いる多くの校正係数が世界各地域の標準化開発組織によって標準化されてきている。そのようなすべての標準は，その後シリコン中の酸素濃度と吸収ピークとの相関をより正確に相関付けしているIOC-88 校正係数1,2 を使用すべく改訂がなされてきている.それにもかかわらず，多くの古い校正係数が工業界において通用したまま残っている.

このgaidは，シリコン中の格子間酸素測定として1970年以来多くの組織において制定された標準で使用されている換算係数および校正係数をまとめたものである.

SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI MF1188 - 짧은 기준선으로 적외선 흡수에 의한 실리콘의 격자간 원자 산소 함량에 대한 테스트 방법

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