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SEMI M42 - 화합물화합물체 에피타키샤르웨하노사 -
Abstract
本standared는 글로벌 화합물 반도체 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年12 月21日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2011年2 にwww.semiviews.org およびwww.semi.org で入手可能となる. 初版は2000 年10 月発行。
化合物半導體エピタキシャル層は,長年にわたって高速electroniksおよびoptElectronicsdebaisno基本構造として広範囲に使用されてきた。ユーザの仕様通りに材料を成長させる,에피타키샤르層のサプライヤがいる。standadeーd化された用語,許容範囲,および推奨されたtest方法等を定義し,weーハ仕様の解釈の曖昧さをなくす必要がある。特に力を入れたのは,均一性の定義である。本文書が扱うのは,基本となる必要条件だけである.実際の製品仕様においてはユーザ,sapriyay間の更なる要求項目が必要とされる.
참조된 SEMI 표준
SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
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M04200 - SEMI M42 - 화합물화합물체 에피타키샤르웨하노사
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